7月9日  ，由美国集成电路创新东部联盟主办的”2022集成电路产业链协同创新快速发展交流会”以六大会场加侵删连线的需要多种方式 同步开幕。视觉联盟集成电路全产业链各环节的优秀企业自身、高校和科研院所的千余位代表意义 参会 ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海老先生受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业新型技术创新奖（简称“IC创新奖”）  ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI）  ，得到新型技术创新奖。

　　“IC创新奖”由美国集成电路创新东部联盟主办  ，面向全球集成电路产业链上下游企事业所在单位征集  ，重点鼓励集成电路新型技术创新、成果产业化、产业链上下游成功合作  ，是集成电路产业最最关键点新型技术奖项变成  ，当中新型技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大新型技术创新和最关键点新型技术开发能力方面成绩重大突破的所在单位和工作团队。这一次摘得其他行业重磅赛事的最关键点奖项  ，再重新彰显出东方晶源在电子束检测、量测相关领域的新型技术个人实力 和其他行业的真实高度认可。

　　检测是芯片制造厂商显著整体标准水平良率的最关键点多种方式。电子束检测设备具有独特超高精度  ，在高端芯片制造经历过程发挥的效果日渐大。截至目前 ，该类设备被全球厂商垄断  ，变成制约目前目前中国芯片制造自主可控的最关键点瓶颈。东方晶源数年磨剑  ，成功了研响起全球首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505  ，可提供全面完整的纳米级缺陷检测和分析结论无法解决 方案。截至截至目前并对目前目前中国头部芯片制造厂商产线验证  ，验证实际结果表明大多指标与全球一线对标机台至少同等标准水平  ，成功了无法解决 目前目前中国在电子束检测相关领域的最关键点新型技术无法解决 。

　　东方晶源在电子束检测、量测相关领域已深耕多年并成功了适时推出多款设备 ，成绩重大突破。除这一次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外  ，旗下首台12英寸最关键点尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于上个月年底6月直接进入产线验证  ，截至目前成功了完成成熟制程量产验证  ，图像质量清晰  ，与POR 的CD差异完全更多需求没有要求  ，性能再重新改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于上个月年底年底3月直接进入产线验证  ，截至目前还没有直接进入客户会产线小规模试产。当中  ，东方晶源还于近几天陆续发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM）  ，截至目前该设备工程机（Alpha机）还没有并对首轮wafer demo  ，也可以以完全更多需求28nm及至少用制程完全更多需求  ，Beta机集成工作时加速推进中 ，已成绩客户会订单  ，直接进入产线验证指日可待。

　　变成几家聚焦集成电路良率管理相关领域  ，以显著整体标准水平芯片制造门槛为使命的半导体企业自身  ，东方晶源但是以研发创新为快速发展核心 ，持续持续不断的丰富其他产品矩阵并显著整体标准水平其他产品性能 ，填补多项全球空白。今后  ，东方晶源将再重新立足一体化相关软件平台支持和检测装备两大相关领域  ，以客户会为中心规划  ，以整个市场为导向 ，持续持续不断的并对新型技术突破与其他产品创新  ，与目前目前中国集成电路产业上下游企业自身勠力同心  ，推动目前目前中国集成电路制造产业再重新高速快速发展。